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清洗對象：ITO玻璃基板的清洗
清洗流程：進片→隔離→洗劑滾刷洗DET Bursh→隔離→高壓水噴淋洗HPMJ→二流體清洗MJ→純水沖洗FR→切水AK→紅外干燥IR→冷卻CPO→出片
典型用戶：江陰長電科技

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